5英寸 N/P型单晶单面抛光硅片-常用耗材-耗材-生物在线
北京华力德科技有限公司
5英寸 N/P型单晶单面抛光硅片

5英寸 N/P型单晶单面抛光硅片

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产品名称: 5英寸 N/P型单晶单面抛光硅片

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产品编号: 20145

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产品产地: 国产

品牌商标: 国产

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5英寸单面抛光硅片

生长方式
直拉单晶(CZ)

直径和公差(mm)
125.2± 0.3mm

型号/掺杂类型
N型 (掺磷、砷、锑) P型(掺硼)

晶向
<100> <111>

电阻率(Ω·cm)
1-60 (Ω·cm) 可按客户要求订制范围

厚度和公差(μm)
按照客户要求订制 ±10

平整度 TIR (μm)
<3μm

翘曲度 TTV(μm)
<15μm

弯曲度 Bow(μm)
<15μm

粗糙度 Ra (nm)
<0.5nm

洁净度(# per wafer)
< 10 (for size > 0.3μm)

包装方式 
25片装 无尘真空包装 1盒起售