5英寸 N/P型单晶单面抛光硅片
产品名称: 5英寸 N/P型单晶单面抛光硅片
英文名称:
产品编号: 20145
产品价格: 0
产品产地: 国产
品牌商标: 国产
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使用范围: null
北京华力德科技有限公司
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5英寸单面抛光硅片
生长方式
直拉单晶(CZ)
直径和公差(mm)
125.2± 0.3mm
型号/掺杂类型
N型 (掺磷、砷、锑) P型(掺硼)
晶向
<100> <111>
电阻率(Ω·cm)
1-60 (Ω·cm) 可按客户要求订制范围
厚度和公差(μm)
按照客户要求订制 ±10
平整度 TIR (μm)
<3μm
翘曲度 TTV(μm)
<15μm
弯曲度 Bow(μm)
<15μm
粗糙度 Ra (nm)
<0.5nm
洁净度(# per wafer)
< 10 (for size > 0.3μm)
包装方式
25片装 无尘真空包装 1盒起售